2004年 8月30日

世界初 走査型プローブ顕微鏡とレーザ顕微鏡の機能を統合 ミリからナノまで、超ワイドレンジ観察をスピーディに ～ オリンパスと島津製作所が共同開発 ～ ナノサーチ顕微鏡「LEXT（OLS3500）」新発売

ナノサーチ顕微鏡「LEXT（OLS3500）」

オリンパス株式会社(社長：菊川 剛)は、株式会社 島津製作所（社長：服部 重彦）と共同で、世界初のミリメートルからナノメートルまで幅広い範囲での観察・計測を可能にした、超高倍率の三次元測定顕微鏡「ナノサーチ顕微鏡」を共同開発しました。

この装置は、オリンパスの走査型レーザ顕微鏡（LSM）と島津製作所の走査型プローブ顕微鏡（SPM）の技術を組み合わせることにより、一台で数十倍～百万倍以上のワイドレンジ観察・測定機能を有し、ミリメートル～ナノメートルまでの観察、計測、段差測定を可能にした新型複合顕微鏡です。

本機の販売は両社で行い、オリンパスは「ナノサーチ顕微鏡　LEXT（OLS3500）」、島津製作所は「ナノサーチ顕微鏡　SFT-3500」の商品名で販売します（オリンパスの発売は10月1日）。

なお、島津製作所は「ナノサーチ顕微鏡　SFT-3500」を、 9月1日～3日に開催される「2004分析展」（幕張メッセ）に出品します。

主な特徴

1） 数十倍から百万倍以上の超ワイドレンジ観察   今までは別搭載であった、走査型レーザ顕微鏡（以下、LSM）の対物レンズと走査型プローブ顕微鏡（以下、SPM）のスキャナを、同じレボルバ上で簡単に切り換えることができ、数十倍から百万倍以上の超ワイドレンジ観察を一台の顕微鏡で効率よくスピーディに行うことができます。 2） ミリからナノまでの106スケールの測定を実現   LSMとSPMを統合したことにより、視野2.5mm～10nm台・測定高さ1mm～サブnｍまで、ミリからナノオーダーまでの106スケールの観察・測定が可能です。 3） 100倍対物レンズからSPMへスムーズな切り換えが可能   LSMの100倍対物レンズで捉えた対象物は、SPMに切り換えた時に必ず視野に入ってくるように設計されています。もちろん、逆にSPMで見ている視野を広げたい時には、そのまま100倍対物に切り換えることにより、全体を観察することが可能です。 4） 観察視野の高精度位置決めが可能   光学顕微鏡の機能も充実し、明視野（カラー）・暗視野・微分干渉観察が可能です。従来の単機能が苦手とした微小な傷、異物の視野探し、位置決めを行い、LSM、さらにSPM観察・測定に移ることができます。LSMの光源には、408nmレーザを使用しており、精度の高い微細形状測定、段差計測を強力にサポートします。

商品の概要

オリンパスの名称 ナノサーチ顕微鏡「LEXT（OLS3500）」

主な観察用途例

1）   半導体材料／次世代デバイス 5）   燃料電池関連 2）   高分子材料／複合材料 6）   薄膜材料 3）   ディスプレイ 7）   生体試料 4）   データストレージ 8）   ナノテク（カーボンナノチューブ等）

主な仕様

レーザ顕微鏡 （LSM）部 観察視野 2,560×2,560μm～21×21μm 対物レンズ 5X , 20X , 100X 光学ズーム 1X～6X 走査型プローブ顕微鏡 （SPM）部 最大走査範囲 水平（X , Y）30μm、垂直（Z）4μm 検出方式 光てこ方式 粗動方式 全自動機構 共通部 ステージストローク 100×100mm 試料最大高さ 54.5 mm 外形寸法 464（W）×559（D）×584.5（H）mm 本体質量 60kg（テーブル・除震台含まず）

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