2004年11月25日

光学基本性能の向上と、多彩な観察方法に対応で、更なる検査効率の向上を提供 半導体検査顕微鏡 「MX61」、 300mmウェハ対応FPD検査顕微鏡 「MX61L」 新発売

半導体検査顕微鏡 「MX61 / MX61L」

オリンパス株式会社 （社長：菊川 剛）は、色温度の最適化により、微妙な色変化を捕らえる事ができる明視野観察と、従来より飛躍的に検出感度を高めた暗視野観察など、光学基本性能を向上させながら、より多彩な観察方法に対応した半導体検査顕微鏡（200mmウェハ対応）「MX61」、及び300mmウェハ対応FPD※検査顕微鏡「MX61L」を2005年1月25日から新発売します。

なお、本製品は12月1日～3日、幕張メッセで開催される「セミコンジャパン2004」にて出展致します（オリンパスブースは国際展示場4ホール　ブースNo.4B-1001）。

	※	「Flat Panel Display」の略で、平面状の表示装置の総称。LCD（液晶ディスプレイ)やPDP(プラズマディスプレイ)等のディスプレイを指す。

製品名 発 売 日 半導体検査顕微鏡（200mmウェハ対応）　 「MX61」 2005年1月25日 300mmウェハ対応 FPD検査顕微鏡　 「MX61L」

主な特長
1．	光学基本性能の向上と、多彩な観察方法に対応
2．	観察に必要な操作ボタン類を本体フロント部およびその周辺に集中配置
3．	半導体・FPDの検査ニーズに応じた機能の最適化が可能

開発の背景

デジタル家電の研究・開発・設備投資の増加に伴い、半導体やFPDの研究開発・製造における検査の必要性が高まっています。1995年発売の半導体検査用顕微鏡「MX50」シリーズは、この業界のお客様から高い評価を得て参りました。このたび、「お客様へ最高の効率の提供」を設計思想とした2つのモデル「MX61 /MX61L」を新たに開発し、お客様の更なる使い勝手の良さ、よりストレスの少なく行える操作性を追求しました。

主な特長の詳細
1．	光学基本性能の向上と、多彩な観察方法に対応
	色温度の最適化を行い抜けの良いクリアな明視野光学系と、平均7倍以上も明るさをアップした暗視野光学系により傷や欠陥を素早く検出できます。明視野・暗視野観察だけでなく、微分干渉・蛍光・近赤外観察など、1台で多彩な観察が可能です。
2．	観察に必要な操作ボタン類を本体フロント部およびその周辺に集中配置
	観察に必要なほとんどの操作部をフロントパネルとその周辺に配置しました。特に、観察像のコントラストの決定に重要な役割を果たす「明るさ絞り（AS）」は、対物レンズの倍率や観察モードと連動して自動で最適化されるようになっています。また、対物レンズの倍率切換えや明るさ絞りの調整や光量調整も本体フロント部にて操作が行なえます。
	この連動ASやフロントオペレーションにより手の移動を最小限にすることでき、作業による疲労を軽減、効率を向上させます。
3．	半導体・FPDの検査ニーズに応じた機能の最適化が可能
	FPD検査に必須の透過照明モジュールは高NA（開口数）タイプと汎用タイプの2種類を用意し、どちらもMX61/MX61Lに装着可能です。また、対物レンズの倍率変更を行なうレボルバー回転をスピードアップし、迅速で効率的な検査が可能になりました。
	また、安全性とエルゴノミーに関する半導体・FPD産業標準のSEMI　S2 / S8に適合し、クリーンルーム対応を高めることにより、電子デバイスの最先端の研究・製造・品質管理の現場の効率化に寄与します。

「MX61 / MX61L」の主な仕様

MX61 MX61L 光学系 UIS光学系システム（無限遠補正） 本体（鏡基） 落射照明系（視野数26.5）12V100Wハロゲンランプ（プリセンタ方式） 明視野・暗視野ミラー＋1キューブ（オプション）切換方式 電動開口絞り内蔵（対物毎プリセット、暗視野時自動開放） 透過照明系（視野数26.5） ※汎用タイプまたは高NA（開口数）タイプから選択可能 光源装置LG-PS2（12V100Wハロゲンランプ）、ライトガイドLG-SF使用 可能観察法  1．落射明視野 2．落射暗視野 3．落射ノマルスキー微分干渉 4．落射簡易偏光 5．落射蛍光 6．落射IR 7．透過明視野 8．透過簡易偏光  3から8はオプションユニット使用 SEMI　S2/S8適合 レボルバ 明視野微分干渉6ヶ穴電動レボルバ 明・暗視野微分干渉5ヶ穴電動レボルバ 明視野微分干渉心出し5ヶ穴電動レボルバ 鏡筒 超広視野正立ティルティング三眼鏡筒（視野数26.5） 広視野三眼鏡筒（視野数22） その他　超広視野三眼鏡筒／広視野双眼鏡筒から選択が可能 超広視野正立ティルティング三眼鏡筒（視野数26.5） ステージ 8×8インチステージストローク　210×210mm（透過照明範囲189×189mm）6×6インチステージ(落射のみ)　ストローク　158×158mm 14×12インチステージストローク　363×312mm（透過照明範囲363×284mm）   ベルト駆動方式（ラックレス）グリップクラッチ機構（ベルト連結解除方式） 外形寸法・質量 （標準組合せ時） 寸法：約509（W）×843（D）×507（H）質量：約40kg（本体 約27kg） 寸法：約710（W）×843（D）×507（H）質量：約51kg（本体 約31kg）

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