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1998年11月25日
エルゴノミー性を徹底追求し、世界最高レベルの光学性能を備えた
300mm対応半導体/FPD(注1)検査顕微鏡
「MX50L」
「MX50L」

300mm対応半導体/FPD検査顕微鏡「MX50L-T(落射・透過照明兼用)」

「MX50L」シリーズは、1996年の発売以来、200mm半導体ウェハ検査顕微鏡の標準機となっている「MX50」シリーズの姉妹機にあたります。今回新発売の「MX50L-T(落射・透過照明兼用機)」は、1998年5月から先行発売した「MX50L-R(落射照明専用)」の追加機種であり、この2機種が揃うことにより、「MX50L」シリーズのラインナップが完成しました。

近年、半導体製造においては半導体の高集積化と高生産性に伴いデバイスも大型化が進んでいる傍ら、半導体検査に携わるユーザーからは「長時間の検査でも疲れない、より使いやすい検査顕微鏡」が求められています。
「MX50L」シリーズは、使いやすさを徹底追求し、疲労を軽減すると同時に検査効率も向上させています。操作部を前面に配置し、手前にレールガイドの突き出しがないため操作性の向上が図られています。また、検鏡者の姿勢に合わせられるティルティング鏡筒を採用し、立ったままの自然な姿勢で操作を可能にしています。顕微鏡の心臓部である光学系には、高解像・高コントラストで半導体業界に評価の高い当社独自のUIS光学系(無限遠補正光学系)(注2)を採用しています。また、300mmウェハ対応のマニュアル検査顕微鏡の分野で、世界で初めてコンフォーカルユニット(注3)の搭載を可能にし、0.18μmのデザインルールのデバイス検査としての可能性を広げました。
更に、「MX50L-T」では、新開発の透過照明コンデンサの採用により、9mm厚のフォトマスク(注4)もクリアな観察像が得られる等半導体マスクやFPD検査の様々なニーズに対応できます。

主な特長
1. 300mm対応半導体/FPD検査顕微鏡
200mmウェハの半導体ラインでの標準機「MX50」の流れを継承し、半導体市場で次世代の標準になりつつある300mmウェハ、FPD検査にも対応できます。
2. エルゴノミー性の追求
フォーカスハンドルをはじめ、調光ボリューム、レボルバ切り換えスイッチ、ステージ操作部を本体前面に配置し、またティルティング鏡筒を採用したことから立ったままでも座った状態でも自然な姿勢で観察、操作が行える様配慮しました。
3. 世界最高レベルの光学性能
当社独自のUIS光学系(無限遠補正光学系)を採用し、高解像、高コントラストが得られ、さらにオプションのコンフォーカルユニットとの組合わせにより0.18μmのデザインルールのデバイス検査としての可能性が広がります。
4. 透過照明性能の向上
新開発の透過照明コンデンサを採用し、ギラツキのないシャープな透過照明観察像を実現しています。9mm厚のフォトマスクもクリアな観察像が得られ、さらに、落射・透過同時照明が可能なのでFPD検査に最適です。
5. 高剛性・耐震設計によりブレのない高倍率観察が可能
14インチ×12インチの堅牢な大型ステージを装備、高剛性・耐震設計により高倍率観察でもブレのない鮮明な画像が得られます。
6. 豊富なアクセサリー群
オートフォーカスユニット(但しMX50L-R仕様のみ)はじめ、「MX50」シリーズ用の豊富なアクセサリー群のほぼ全てがご利用頂けます。
(注1) FPD 「Flat Panel Display」の略で、平面状の表示装置の総称。LCD(液晶ディスプレイ)やPDP(プラズマディスプレイ)等のディスプレイを指します。
(注2) UIS光学系 「Universal Infinity System」の略で、当社の無限遠補正光学系を言います。対物レンズと結像レンズの光束が平行で、対物レンズと結像レンズの間に中間鏡筒類を装着しても追加光学系を必要とせず、色収差を対物レンズ・結像レンズ・接眼レンズの各々で独立補正した光学系。
(注3) コンフォーカルユニット 無数の微小な孔(ピンホール)を螺旋状の配列で穿った円盤を顕微鏡の 一次像面上で高速回転し、それらの孔を通して試料にスポット光を照射して走査し、試料からの反射像を同じ孔を通して観察する方式。
(注4)フォトマスク 石英ガラス等のマスクブランド上にマスターとなるパターン像を 形成したマスク構成体。ICや液晶パターン等の製造工程において露光装置にて用いられる。
主な仕様
項目 MX50L-R MX50L-T
鏡体 フレーム 12"アーム一体型フレーム
落射照明用電源(12V100W)、電動レボルバ駆動用電源内蔵
--- 透過照明系内蔵(φ12mm外径のファイバーガイドによる冷光照明)
焦準部 粗微動一軸ハンドル、ストローク32mm(焦点面上方より2mm,下方30mm)微動ハンドル:一回転移動量0.1mm,一目盛1μm,微動感度1μm 以下
レボルバ 5ケ穴高速電動レボルバ、 明暗視野用(明視野対物レンズ組合せ時は対物アダプタ併用)
本体手前スイッチ操作による順送り、またはハンドスイッチ(U-HS)によるダイレクト指定可
落射照明 明暗視野スライダ切換方式(微分干渉・簡易偏光観察対応)
12V100W ハロゲンランプ、開口絞り、視野絞り(心調整機構付き)、ピンホールスライダ内蔵
透過照明 --- 超長作動距離コンデンサN.A.0.6(ストローク11mm)
開口絞り、視野絞り(心調整機構付き)
外部電源のLG-PS2(12V100Wハロゲン)とライトガイドを使用
ステージ 14"×12" ストローク355.6×304.8mm(透過照明範囲355.6×228.6mm)
ローラーガイド式スライド式 ベルト駆動方式(ラックレス)、グリップクラッチ機構
ウェハホルダ 12"(300mm)、8"(200mm)回転ウェハホルダ
マスクホルダ 6インチマスクホルダ
ガラス
プレート
423.8×284.8mm t6
鏡筒 超広視野正立ティルティング三眼鏡筒(視野数:26.5)
対物レンズ UIS対物レンズ
接眼レンズ UIS接眼レンズ
写真レンズ UIS写真接眼レンズ
消費電力 200VA
質量 MX-SIC1412、MX-WHPR128、U-SWETTR組み合わせで約50Kg
オリンパス光学工業株式会社は、2003年10月1日をもってオリンパス株式会社と社名変更いたしました。
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