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2002年 6月27日
非接触三次元計測システムの多様なニーズに対応
三次元測定顕微鏡「STM6 ZP」「STM6 DF」
STM6 ZP STM6 DF
三次元測定顕微鏡「STM6 ZP」 三次元測定顕微鏡「STM6 DF」
オリンパス光学工業株式会社(社長:菊川 剛)は、オートステージにより広範囲に三次元測定が可能な測定顕微鏡「STM6 ZP」と、コンフォーカル像を積層することによりカラー3D画像の構築が可能な、測定顕微鏡「STM6 DF」を発売いたします。
近年、電子部品や半導体分野では、部品の小型化、高密度化に伴って三次元計測の要求が強くなり、部品形状が複雑になる中で、非破壊での検査や計測が求められ、測定機へのニーズが多様化しています。
当社では測定顕微鏡の新機種として、2001年3月に「STM6」を発表。小型クラスでは世界で初めて高速・高精度のオートフォーカスをラインアップに加え、測定時の疲労軽減と作業効率を飛躍的に向上させ、市場でも好評を頂いているモデルです。
今回の2機種の発表は、多様化する測定のニーズにより幅広く対応できるラインアップとなっています。
主な特長
STM6 ZP:
高精度オートフォーカスがオートスキャニングステージに追従することより、視野にとらわれない広範囲な三次元計測に対応
STM6 DF:
ディスクコンフォーカル・ユニットがセクショニングされた画像をZ方向に積層することにより、カラーCCDカメラとの組み合わせによりカラー三次元像構築が可能
製品名 発売日
三次元測定顕微鏡「STM6 ZP」 2002年 7月17日
三次元測定顕微鏡「STM6 DF」
主な特長の詳細
STM6 ZP:

  1. 高精度オートフォーカスがオートスキャニングステージに追従することにより、視野にとらわれない広範囲な三次元計測に対応。

    反射アクティブ方式の高精度のオートフォーカスが、新開発のオートスキャニングステージ(電動X-Yステージ)のスキャンエリアを駆動分解能 0.1μm、最高速度40mm/secで追従。視野にとらわれず、最大150×100mm*の広範囲にわたる三次元測定が可能となりました。
    * STM6 ZP-LMは最大250×150mm
  1. 多彩な解析が可能な専用ソフトウェア

    取り込んだ資料表面の三次元座標をもとに三次元像を構築します。また断面プロファイルや高さのヒストグラム表示が可能で、チップ実装の傾き検査、微小金属部品の形状測定などに威力を発揮します。また三次元座標はCSV形式での出力が可能です。
STM6 ZP 三次元像(25セント硬貨 1.0×1.0mm) STM6 ZP 三次元表示とヒストグラム表示
STM6 ZP 三次元像
(25セント硬貨 1.0×1.0mm)
STM6 ZP 三次元表示と
ヒストグラム表示
STM6 DF:

  1. ディスクコンフォーカル・ユニットがセクショニングされた画像をZ方向に積層することにより、カラーCCDカメラとの組み合わせにより色情報を得ることが可能

    新開発のディスクコンフォーカル・ユニットによって視野内の焦点が合った像のみを積層させることにより、視野全面に焦点が合ったエクステンドフォーカス像が得られます。さらに高さデータと合わせることにより、三次元像を構築することも可能です。しかも、カラーCCDとの組み合わせにより色情報も得られるので、3D計測はもちろん、3D外観検査もこの1台で行えます。

  2. 画像処理・画像計測などの豊富な解析ツール

    STM6DFの専用ソフトウェアは、画像処理(各種フィルタ、カラー分離など)や画像計測(三次元計測、輝度プロファイル、ヒストグラム計測など)などの解析が可能。メッキバンプの高さやインクジェットのノズル径、プリント基板のビアホール径および深さなどの測定に最適です。また通常の測定顕微鏡としても使用でき、高い汎用性を兼ね備えています。
STM6 DF エクステンドフォーカス像 STM6 DF 三次元像
STM6 DF エクステンドフォーカス像 STM6 DF 三次元像
主な仕様
STM6 ZP: ※テーブルストロークの大きいLMも選択可
  STM6 ZP STM6 ZP-LM
本体 Z軸測定範囲 155mm 205mm
測定分解能 0.1μm
照明 12V 100W ハロゲン
鏡筒 正立三眼鏡筒
対物レンズ(UIS) LMPLFLシリーズ
接眼レンズ(UIS) MM6-OCC10x、MM6-OC10x
テーブル ストローク MM6C-CS150AS
(X150mm,Y100mm)
MM6-CS250AS
(X250mm,Y150mm)
測定分解能 0.1μm
最高速度 40mm/sec
マニュアル
ハンドル
粗動:16mm/回転
微動:0.8mm/回転(スイッチによる切換)
AFユニット 再現性 20x対物時:2μm
50x,100x対物時:1μm(いずれも2μn-1
STM6 DF: ※テーブルストロークの大きいLMも選択可
  STM6 DF STM6 DF-LM
本体 Z軸測定範囲 155mm 205mm
測定分解能 0.1μm
照明 12V 100W ハロゲン
鏡筒 正立三眼鏡筒
対物レンズ(UIS) UMPlanFL、LMPlanFL、MplanApo
接眼レンズ(UIS) MM6-OCC10x、MM6-OC10x
テーブル ストローク MM6C-CS50
 (X50mm, Y50mm)
MM6C-CS100R
 (X100mm, Y50mm)
MM6C-CS100
 (X100mm, Y100mm)
MM6C-CS150
 (X150mm, Y100mm)
MM6-CS250
 (X250mm, Y150mm)
測定分解能 0.1μm
コンフォーカル・
ユニット
視野数 22(実視野11mm)
鏡筒倍率 2倍(コンフォーカル光路、ダイレクト光路とも)
照明 150W ハロゲン
CCDカメラ CCDカメラ本体 専用プログレッシブスキャンカメラ
TVアダプタ U-TV0.35xC
視野サイズ 5X:1.8×1.3mm
10X:900×680μm
20X:450×340μm
50X:180×130μm
100X:90×68μm
オリンパス光学工業株式会社は、2003年10月1日をもってオリンパス株式会社と社名変更いたしました。
  • 本リリースに掲載されている内容は、報道関係者向けに発表した情報です。
  • 掲載内容は、発表日現在の情報であり、ご覧になっている時点で、予告なく情報が変更(生産・販売の終了、仕様、価格の変更等)されている場合があります。
  • 掲載されている社名、製品名、技術名は各社の商標または登録商標です。


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