2005年 4月 5日

光学基本性能の向上により観察力アップ。更に多彩な観察方法を提供 工業用検査顕微鏡 「MX51」 新発売

工業用検査顕微鏡 「MX51」

オリンパス株式会社 （社長：菊川 剛）は、光学基本性能の向上により観察能力をアップさせ、更にお客様の用途に応じて多彩な観察方法を提供できる工業用顕検査微鏡「MX51」を2005年4月18日から新発売します。

なお、本製品は6月8日～10日、パシフィコ横浜で開催される「光ナノテクフェア2005」に出展致します。

製　品　名 発　売　日 工業用検査顕微鏡 「MX51」 2005年4月18日

主な特長

1．	光学基本性能の向上により観察力アップ
2．	幅広いシステム拡張性により多彩な観察方法を提供
3．	試料移動や観察における快適な操作を実現

ターゲット・用途

研究・開発・製造・品質管理部門における工業用材料・電子部品。特に、150mm以下の半導体ウエハ観察や磁気ヘッドなどの検査。

主な特長の詳細

1．	光学基本性能の向上により観察力アップと、多彩な観察方法に対応と、多彩な観察方法に対応
	対物レンズ及び投光管など照明効率向上のための最適化設計を行いました。これにより、検査顕微鏡に求められる機能のひとつ「欠陥検出」に欠かせない暗視野観察の能力を、当社従来モデル比（MX40）で約4倍にアップさせることが出来ました。

2．	光学基本性能の向上により観察力アップ
	観察ユニットの高い拡張性により好評の当社金属顕微鏡「PowerBX」シリーズシステムを採用したことにより、シリーズ従来機「MX40」と比べてより多彩な観察方法が可能となりました。最大5※種類の落射観察法を1台にて実現することができます　（ユニバーサル投光管「BX-URA2」組合せ時）。また、オプションユニットを装着することにより、透過観察も可能になりました。
	電動落射投光管も用意し、明視野と暗視野の両観察法の切換えも、スイッチ１つにて制御可能になりました。

	※	明視野・暗視野・微分干渉・簡易偏光・蛍光

3．	試料移動や観察における快適な操作を実現
	ステージには、粗微動切換えのクラッチ内蔵のグリップハンドルやステージのXY駆動方式にベルト駆動を採用して、XY方向に100ｍｍ以上の大型試料の検査および顕微鏡観察に快適な試料移動を可能にしました（150mmステージMX-SIC6R2組合せ時）。
	また、ワールドワイド対応の安全性とエルゴノミーにも配慮。業界標準のSEMI　S2/S8に適合しております。
	帯電防止機能を付加したユニットを用意し※2、長期間の使用でも、塵・埃がつきにくくする配慮をしています。

	※2	顕微鏡本体・ステージ・接眼・レボルバーで対応するユニットの選択も可

「MX51」の主な仕様

光学系 UIS光学系システム（無限遠補正光学系） 本体（鏡基） 落射照明電源内蔵（12V100Wハロゲンランプ） 共軸粗微動ハンドル方式 粗動ハンドル1回転あたりのストローク量17.85mm、微動ハンドル1回転あたりのストローク量0.1mm 上下ストローク32mm（上方2mm、下方30mm）　SEMI S2 / S8適合 落射照明系 落射照明系鏡体アド・オンタイプ　鏡筒倍率1X 超広視野（FN26.5）対応 BX-RLA2使用時：  明・暗視野用落射投光管 観察切換：  BF－DFスライド式 可能観察法：  1）落射明視野   2）落射暗視野   3）落射微分干渉　   4）落射簡易偏光   5）落射IR（近赤外光）   6）透過明視野（オプションユニット装着時） BX-URA2使用時：  ユニバーサル落射蛍光投光管 観察切換：  装着ミラ－ユニット（最大6ヶ）ターレット式 可能観察法：  1）落射明視野   2）落射暗視野   3）落射微分干渉   4）落射簡易偏光   5）落射蛍光   6）透過明視野（オプションユニット装着時） ランプハウス ハロゲンランプハウス：U-LH100L-3 電源は、MX51本体内蔵のものを使用 水銀ランプハウス：U-LH100HGAPO 電源は、専用外部電源BH2-RFL-T3を使用 透過照明 MX-TILLK、ファイバガイド照明装置LG-PS2を使用（MX-SIC6R2との組合せ） 電装系 100-120/220-240V～1.8A/0.8A 50/60Hz　連続可変明るさ調整つまみ 鏡筒 U-BI30-2 広視野双眼、　U-TR30-2 広視野三眼、　U-ETR-3 広視野正立三眼　（視野数：22） U-SWTR-3 超広視野三眼、　MX-SWETTR 超広視野正立ティルティング三眼　（視野数：26.5） レボルバー マニュアル：U-5RE-2, U-6RE, U-P6RE, U-D6RE, U-D7RE, U-5BDRE, U-D5BDRE, U-P5BDRE,U-D6BDRE 電動：U-D6REMC, U-D5BDREMC, U-P5REMC ステージ U-SIC4R2/SIC4L2　（MX-STADを併用） 共軸右（左）下ハンドル4x4インチ 駆動方式：ラック&ピニオン 縦送りロック機構：ロックレバーによるY方向固定 オプションのプレートを使用して4・3インチウェハホルダ装着可 MX-SIC6R2 共軸右下ハンドル6x6インチ 駆動方式：ベルト駆動 ストローク：縦158x横158mm プレート穴寸法：200x200mm 透過照明範囲：100x100mm 外形寸法・質量 （標準組合せ時） 寸法：約430（W）x 591（D）x 495（H）質量：約26kg

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