| 主な特長 |
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| 1． |
新開発の深紫外線光学系で0.08μmの超高解像度観察を実現 |
| 2． |
光学顕微鏡に追加搭載可能 |
| 3． |
自在なレイアウトと優れた操作性 |
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| 主な特長の詳細 |
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| 1． |
新開発の深紫外線光学系で0.08μmの超高解像度を実現 |
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| 深紫外線（248nm）に最適化した光学系を新開発し、0.08μmの超解像能力を実現。解像限界まで高いコントラスト像を提供します。 |
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| また「無接合レンズ※2」を採用し、深紫外線の長時間照射によるレンズ性能の劣化を防ぎます。 |
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| 新開発の深紫外線設計技術とシンプルな光学系により、これまでにないクリアで明るく高精細な観察像を提供します。 |
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※2 |
レンズ間の固定を接着剤による接合に頼らず、18群18枚のレンズ群を高精度に組み上げる製造しています。 |
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| 2． |
光学顕微鏡に追加搭載可能 |
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従来、専用の顕微鏡システムでしか実現できなかった深紫外線顕微鏡システムが、オリンパス半導体検査顕微鏡MX61・MX51シリーズであれば、オプションで構成が可能になりました。また、拡張性にも優れ、画像処理ソフトウェアでカメラを制御できます。 |
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| 3． |
自在なシステムレイアウトと優れた操作性 |
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光源部を本体から分離し大幅な小型化をしたため、使いやすいシステムレイアウトが可能です。また15フレーム/秒のリアルタイム画像表示により、試料の移動やフォーカシングもストレス無く行えます。 |
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| 顕微鏡用深紫外線観察システム「U-UVF248」の主な仕様 |
| ■U-UVF248深紫外線顕微鏡ユニット |
UV248鏡筒
【U-UVF248ＩＭ】 |
ＤＵＶ光学系 |
使用波長 |
248±4nm |
| 光源 |
80W水銀キセノンランプ
専用DUV100X対物 |
| 対物レンズ |
N.A. 0.9 WD 0.2mm |
| 中間倍率 |
2.5X |
| 視野数 |
12.5（実視野50ｕm） |
| 可視光学系 |
対物レンズ |
UIS対物レンズ |
| 中間倍率 |
1Ｘ |
| 視野数 |
22（カメラ観察は20） |
| UV248光源ボックス【U-UVF248ＬＢ】 |
明るさ調整 |
0から100%手動無段階調整 |
| シャッター |
上下スライド式切換レバー |
| UVライトガイド【U-UVF2FB/5FB】 |
長さ2ｍまたは5ｍ |
| 水銀キセノンランプハウス【U-LH80HGXE】 |
80W水銀キセノンランプ使用 |
| 電源装置 |
ウシオ製 （100Ｖ～120Ｖ） |
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| ■DUV画像キャプチャー部 |
| DUVカメラ |
XCD-SX910UV（ソニー製） 高解像度DUVデジタルカメラ
SXGA 1280（H）×960（V） 紫外領域対応：190nm～380nm |
| DUVカメラ制御部 |
PCIバス対応IEEE1394画像入力ボード
カメラ制御用PC（WindowsXP、ドライブCD-ROMまたはDVD-ROM）その他推奨仕様あり。 |
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| ■顕微鏡部本体（別売り） |
| 推奨顕微鏡システム |
半導体・FPD検査顕微鏡システム MX61/MX61L工業用検査顕微鏡システム MX51 |
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| システム消費電力 |
3kW（最大） |
| 質量 |
約46kg（MX61組合せ時）、約28kg（MX51組合せ時） |
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